沈朔：用于LED外延片制造的核心装备

　目前，用于LED外延片制造的核心装备——MOCVD。一台MOCVD的研发成本以亿元计，技术和资金门槛相当高。MOCVD的专利技术和市场份额几乎为国外公司所垄断，设备供不应求，中国地区led显示屏的订单就排到了两年之后。作为国内MOCVD的主要用户，广东LED产业的发展承受巨大的销售和成本压力。
　　经过探索，我们已找到了一条实现MOCVD国产化的路子。广东省科技厅、中科院半导体研究所、广东省工业技术研究院、国家半导体照明工程研发及产业联盟将联合共建广东半导体照明产业技术研究院。我们预计在两年内，要拿出量产型的国产MOCVD。